往生記正文一百三十我我魚
一百三十
經過了幾個月的焦急等待與煎熬長久和虞博士傾注心血的第一個芯片工廠終於在1983年的五月份調試成功進行了試生產。
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試生產的產品是的mos動態存儲器比較成熟的產品工藝也不複雜但是卻是十分的考驗生產線的性能。
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動態存儲器結構很簡單只要一到三個晶體管即可構成一個存儲單元視結構而定。製造存儲器的關鍵在於集成度將成百上千的存儲單元集合在一起組成陣列相互之間的線寬要縮小到極限這樣才能降低成本因此對工藝的要求很高。
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這也是為什麼一個芯片工廠的技術指標乃至一個國家的集成電路工藝水平總是用單片存儲器的容量表示的原因這方面的競爭可以說用殘酷來形容美國、歐洲、日本都在爭分奪秒的提高動態存儲器的容量其中以日本做的最為變態。
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小鬼子以重工業立國幾十年如一日的搞「物作」信奉的是實體懂得以國家之力衝刺難關終於突破了集成電路製造技術讓日本公司在國際上都有了競爭力能和美國人競爭mos存儲器製造。
曹長久的這個芯片生產線雖說按著公開的最新技術設計但是不敢托大只是選擇了成熟的東西試產力求一次成功不留後患時間不等人。
試產那天虞博士和曹長久嚴陣以待每個環節都親自把關。原料是進口的高純3英吋硅單晶價格那是相當的高。
集成電路芯片號稱比黃金都貴物料成本卻比垃圾都低其原因就是原料使用的是無所不在的沙子。
但是將沙子當中的硅提煉提純卻需要相當的工藝這個成本就是高的驚人了。光有晶圓還不夠整個生產工序足有89道每一道都是一個關口要想將成品率控制在百分之八、九十以上其難度可想而知。
作為精密印刷業的一個分支芯片工藝最見不得的就是灰塵和缺陷更何況幾乎上百道的工序要轉移。
因此每道工序的合格率就成了關鍵哪怕是百分之九十九也不成。很簡單一道工序合格百分之九十九那麼近百道工序下來還剩多少能用的?
因此虞博士和長久他們一個工序一個工序的檢查務必保證完美。虞博士是老手他當年就是幹這個的因此熟門熟路。
長久就是一生手好在他現在的地位已經不需要幹什麼了只要站那裡看就行了。
把所有的工序濾一遍需要好長時間整整一個星期就這麼過去了長久不禁懵。
「虞叔不是要試產嗎?」長久感覺不太對勁「這都過去好些日子了怎麼還沒動靜?」
「年輕人少安毋躁!」虞博士成竹在胸「沒有三兩三哪敢上梁山!一年多都等下來了還在乎這點時間我們雖說有點錢但也禁不起造的準備充分一點還是有好處的。」
欲善其事先利其器的道理長久還是懂得倒也沒說什麼。虞博士這些日子的辛勞他也看在眼裡人家都身先士卒了長久一個頭還能不表示表示?
忙碌了一周之後生產線悄無聲息的開動了一片片的晶圓猶如烤麵包一樣的在爐子裡面旋轉烘烤。一片灰塵就能報廢整個的晶圓人人在裡面都得穿上防化服防止各種各樣的污染。
這個生產線還不是全自動化的依然有人在裡面做一些必須的工作人人都小心翼翼手裡端的可都是希望。
整整72小時第一批的存儲器晶圓出爐了經過切割檢測一個大致的成品率數據被估算出來了。
「百分之七十八嗯。」虞博士嘴裡念叨著臉上不動聲色。
長久也不知道這個數據是好是壞只好問道:「虞叔怎麼樣能不能成啊。」
虞博士笑道:「還行等我們的工藝參數微調之後相信會更好。」
「那就是成功了!」長久拿著一塊成品晶圓興奮的大叫「萬歲!」
這是一顆bit的mos管動態存儲器是基於單晶體管存儲單元的結構使用了兩層多晶薄膜分開三層電路結構就好像電路板分層一樣。
兩層多晶結構可以使整個的集成電路可以有更好的布線效率就相當於一塊電路板雙層的可以比單層的面積縮小一半。
這是存儲器製造工藝的一個革命性的改進是虞博士親自開的。美國人早在1975年就實現了這個工藝而華夏在這個年代還沒有這樣的技術這次成功也算是一個小小的突破吧。
為了製造出兩層多晶膜這顆動態存儲器使用了7層掩膜(mask)。所謂掩膜就是一張刻有圖形的透光板而已。
我們都會用硬紙板寫字或畫上圖案然後按著圖形掏空拿噴漆一噴就是一個字或圖案出來了。集成電路也是一樣只不過光代替了噴漆而掩膜板代替了硬紙板而已。
集成電路生產線使用的掩膜板大多是石英玻璃表面噴塗了金屬鉻用照相技術或者電子束在其上進行感光之後酸一洗就是一個帶著圖案的掩膜版。
長久他們的工廠設備分辨率只能達到1~到3微米只能進行分步投影接近正常的圖形,七層掩膜就是做這個用的。
三英吋的硅晶圓五微米的生產技術整個動態存儲器的芯片面積(die)大概19平方毫米十分之小巧玲瓏。
的存儲器早就是過時的產品五微米技術也遠不是這個工廠的極限只是這都是虞博士的考慮。
生產線剛剛運轉各種工藝條件需要磨合人員素養也要提高為了保險起見只能拿這個東西練手
還好沒出什麼大的紕漏一切同虞博士的預想一樣。
「長久可以召開會了。」虞博士長出一口氣「目前看來運轉良好下一步就可以使用2微米技術試產o21改進型了。」
這個不用長久操心公司裡早有一幫人專門幹這個的。五月十八日數字東方在半島酒店隆重召開了記者招待會邀請各家媒體記者向社會宣佈了數字東方的芯片工廠試產成功不日即將出口供貨。
十分可惜似乎港府對這個消息並不怎麼在意來的記者大多是應差。倒是老外對此很重視前排啪啪坐了一大群各類重型裝備擺了一溜似乎就等著拍照片。
長久沒見過這個大場面剛一上台還沒說話就被閃光燈炫的退了一步。
長久定了定神索性不看下面拿出了演講稿開始朗讀。一連串的數據指標出來把下面的老外都唬的一愣一愣的。
講到酣處長久取出了早已準備好的一塊報廢晶圓給下面的傢伙做了一個pose。
這是長久夢中常見的場景他可是十分羨慕那些人模人樣的傢伙捧著塊晶圓站在講台上。今天長久可真是激動啊這可是他自己的產品終於實現了夢想。
那些記者哪見過這個架勢頓時閃光燈響聲大作一張經典傳世照片就這樣誕生了。
第二日各大報紙紛紛登載了這條消息主題就是一個年輕人傻傻的手捧閃光的硅晶圓的相片。
香港《大公報》對這個新聞做了一篇短評高調的讚揚了本土高新技術產業的展對長久本人也是表示了很大的興趣因為這傢伙實在是太年輕了。
國外的報紙也紛紛轉載不過大多對此表示了輕視或嘲笑因為長久在會上展示的dRam製造技術還是美國75年的水平因此完全不把他當作一個威脅。
只有宮本屁顛屁顛的跑了過來詢問供貨事宜。
長久此時當然自信滿滿的答應他一個月後第一批貨就可以出了你們就把錢準備好吧。
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